★ 18µm / 18µm
超微細な線幅／線間スペース、先進エッチング技術
★ ±25µm
回路とビアホールの位置合わせ公差、LDI技術
★ ±30µm
液状感光性ソルダーレジストインクの位置合わせ公差、DI技術
